平面陰極特點：
1、 采用獨特的磁路設計，突破傳統(tǒng)模式，更符合磁控濺射的理念。
2、 采用獨特的結構設計，可以內(nèi)置、外置，更符合使用要求。
3、磁鐵不被冷卻水包圍，減少腐蝕，且保證磁力線的有效曲線分布。
4、獨特的布氣方式，更加保膜層濺射的均勻性，其等離子狀態(tài)更加平衡。
5、 更高的濺射率，離子密度更強。
6、 更高的利用率，高達40%以上。
7、 尺寸范圍：可在300-3000mm區(qū)間，保持一致的均勻性
8、使用范圍：如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等