發(fā)布時間：2022-08-20
真空法蘭是管端的法蘭，用于將真空室、管道和真空泵相互連接，真空法蘭用于科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用，以允許各種設(shè)備通過物理連接進(jìn)行交互，以及從真空室外部進(jìn)行真空維護(hù)、監(jiān)控和操作。常見的真空法蘭形式主要有六種：
1、雙重橡膠密封法蘭
雙重橡膠密封法蘭主要用于避免橡膠材料的出氣和滲漏影響，以實(shí)現(xiàn)超高真空的獲得。通過中間冷卻槽冷凍橡膠或中間抽真空來達(dá)到降低橡膠出氣和減少滲漏的目的。
2、真空快卸法蘭
真空快卸法蘭主要用于高、中、低真空管路，又分夾緊型和擰緊型，通常用O型橡膠密封圈密封。
3、卡鉗真空法蘭
卡鉗真空法蘭同樣用于高、中、低真空的管路連接，形式上有卡鉗螺釘連接、卡鉗墊塊連接及卡鉗螺栓連接。
4、金屬密封法蘭
金屬密封法蘭一般用于壓力低于10-7Pa的超高真空系統(tǒng)，要求密封材料耐200℃以上的高溫烘烤。常用的密封材料有鋁、銅、金等。
5、橡膠密封真空法蘭
普通橡膠密封真空法蘭廣泛用于高、中、低真空金屬系統(tǒng)中。如果用于超高真空系統(tǒng)，則需要用到另外形式的橡膠密封法蘭。
6、氟橡膠超高真空法蘭
氟橡膠超高真空法蘭，顧名思義可用于超高真空系統(tǒng)，它采用氟橡膠密封圈，與導(dǎo)管需要采用雙面焊接，并精加工，減少各類缺陷。
